第一台准分子激光器于1970年诞生，它行使强电子束激励液态氙，获得氙准分子的激射作用，激光波长为1720埃。随后，气相氙分子以及其它有数气体准分子，有数气体氧化物准分子(氧化氪、氧化氙、氧化氩等)，金属蒸气-有数气体准分子(氙化钠等);有数气体单齿化物准分子(氟化氙、氟化氩、氟化氪、氯化氙、溴化氙、碘化氙、氯化氪等)，金属齿化物准分子(氯化汞、溴化汞等)和金属准分子(钠准分子等)陆续诞生。准分子激光物质具有低能态的排斥性，可以把它有用地抽空，故无低态吸取与能量亏损，粒子数反转很容易，增益大，转换服从高，重复率高，辐射波长短，重要在紫外和真空紫外(少数延长至可见光)区域振荡，调谐范围较宽。它在星散同位素，紫外光化学，激光光谱学，快速摄影，高分辨率全息术，激光武器，物质结构研究，光通讯，遥感，集成光学，非线性光学，农业，医学，生物学以及泵浦可调谐染料激光器等方面已获得比较广泛的应用，而且可望发展成为用于核聚变的激光器件。

    在医学领域中使用的激光器种类特别很是多,常用于眼科治疗的重要有红宝石(rudy)激光、氩离子(Ar+)激光、氪离子(Kr+)、染料(dye)激光、掺钕钇铝石榴石(Nd:YAG)激光和氟化氩(ArF)准分子激光等固体、气体和液体的激光器，用延续的、脉冲的和调Q的体例，治疗眼底部色素膜和屈光间质等部位的数十种有关眼部疾病。

    眼科使用的准分子激光, 是以氩气(Argon) 和氟气( Fluoride) 为工作气体产生的激光。所谓准分子激光，是指受激二聚体(惰性气体和卤素两种元素)所产生的激光，波长范围为157～353nm，所属紫外激光波段。如今用于临床的氟化氩(ArF)混合物产生的波长为193nm的超紫外冷激光.

    波长为193nm的ArF准分子激光，进行屈光手术的机理就是光化学效应。准分子激光单个光子的能量大约是6.4eV，而角膜组织中肽键与碳分子键的结合能量仅为3.6eV。当其高能量的光子照射到角膜，直接将组织内的分子键打断，导致角膜组织碎裂而达到溶解切割组织的目的，并且因为准分子激光脉宽短(10～20nm)，又是光化学效应切除。因此，对切除四周组织的机械损伤和热损伤极小(﹤0.30μm)。

    用这种刀施行光切术,其切割精度可达到μm级,其刀口损伤范围仅达nm级,而且因为无热效应而不会损伤邻近组织。所以现已运用于角膜手术，如角膜屈光手术、角膜疤痕去除等。